MEMSはMicro Electro mechanical systemsの略で、非常に小さな構造を持った機械などをさしています。
これはいわゆる最近話題のナノテクノロジーと呼ばれる技術の入り口に当たるものです。
尚、調査対象は米国特許です。
では、権利者別の分類集計から興味深いものをいくつかリストアップしていきます。（順不同）
目立つ会社の１つとしてアナログデバイスという会社があります。
これは、アナログの半導体デバイスではかなり有名な会社です。その中で、結構面白いものがあります。
その１つにマイクロマシンドジャイロというものがあります。
これはアブストラクトを見ていると、まさにマイクロマシン微細加工技術を用いて作ったジャイロスコープのようです。
次にご紹介しますのは、マイクロメカニカルシステムを使った加速度計関係がアライドシグナルインクという会社から出ています。９６年くらいまでさかのぼっています。
カリフォルニア工科大学もいくつか成立させています。フォログラム関係、薄膜エレクトロニクスホンプ、分析機器関係、それからアクチュエータ、リレー等があります。なかなか多彩です。
次に目立つのは、コーネルリサーチファウンデーションから出ているものがあります。これは、マイクロメカニカルシステムを作るためのプロセスおよびその装置関連にかなりいろいろな特許を成立させているようです。また加速度計関係も散見されます。
次に目立つ会社としては、カメラやフィルムで有名なイーストマンコダックがあります。
イーストマンコダックは、光変調機、格子デバイス、メカニカルグレイティングデバイス、等、光関係のものが多いです。
意外なところでは、フォード自動車からも、MEMS関連の特許が出願成立しているようですが、マイクロモータデバイス関係を体系的にやっているような気がします。
フォードモータの特許を見ていると、運動を感知するためのセンサーもかなり出ています。
次にジェネラルエレクトリックGEについて見ていきます。GEではスイッチ関係が多いです。フォトニックスイッチ、交換機用と思われるコンタクトスイッチ等もMEMSで開発しようとしているのでしょうか。
次にHP(ヒューレットパッカード)を見ていきます。HPの場合は、プロセス特許、シリコンマイクロストラクチャーをいかにつくるか。それから、ヘッドドライブ関係があります。クロモトグラフィー等、計測関係もあります。プリンター関係もいくつかあります。プリントヘッド、インクジェット関係です。
次に日立を見ていきます。日立の場合は、まず目についたのが化学分析装置があります。光学関係、スキャニングプロブマイクロスコープ、走査型プローブ顕微鏡(STM)です。
次はハネウエルという会社を見ていきます。超小型のコンプのような特許もあります。ステッパーのモーターのような特許も出ています。あとはリレイ関係のものもあります。マイクロアクチュエーター、マイクロサーマルクーラー等、面白そうなものがあります。ディスプレイ関係もあります。
続いてルーセントテクノロジーのものを見ていきます。プロセス関係、ファイバー関係も多いようです。光関係、メカニカルオプティカルデバイス、光を組み合わせたような特許もいくつか出ています。スイッチ関係も多いです。
会社名にMEMSが入っている、MEMSオプティカルインクという会社があります。まさにMEMSとオプトを組み合わせたあたりにいくつかの特許を出しています。マイクロレンズ関係、シャッター関係もあります。
次はマサチューセッツ工科大学MITを見ていきます。マイクロモーター、マイクロモーター等を作るための製造プロセス、センサーおよび、センサー関係があります。
DRAMで有名なマイクロンテクノロジーもかなりの件数を出しています。リソ関係とフラットパネルデイスプレイっぽいものも結構あります。
次は通信で有名なモトローラを見ていきます。マイクロエレクトリカルスイッチが目立ちます。R/F高周波スイッチ関係が多いです。
次にナショナルセミコンダクターを見ていきます。リソデータ、共振器関係、トランスデューサーが何件か出ています。
サンディオコーポレーション、ここは化学と組み合わせた特許を出しています。面白そうな会社です。
次はシルバーブロック研究所から非常に多くのインクジェットプリンター関係の特許が出ています。
次にTRWという会社です。MEMSを用いた共振器、スイッチ関係R/Fスイッチ関係が多いです。
次は、DSPで有名なTI（テキサスインスルメンツ）です。TIにはデジタルミラーデバイス（DMD）という技術があるのですが、さすがにこれに関係したプロセスがらみの特許が多くあります。しかし、注目するものとしてはR/Fスイッチもかなりあります。TIはアナログも強いですからこの辺に注力しているのかもしれません。
次はカリフォルニア大学を見ていきます。ここもなかなか多彩です。センサー、遺伝子関係、プロティンコントロールシンセシスもあります。アクチュエーター、ジャイロスコープ、センサー製造方法、光学スイッチ（結構多い）。なかなか豊富にやってます。
次にミシガン大学、製造方法、どうやってMEMS構造を作るか！という特許が目立ちます。後、センサー関係、共振器。
次は米国政府の空軍、マイクロミラー関係、光スイッチ、アンテナ関係。
次に海軍からは、センサが多いでしょうか。MEMSモーショントランスレーション、モーションセンサー、等が結構あります。 陸軍は、リッチセンサー、スイッチ回路、スイッチデバイス関係が多いです。
次にウイスコンシンリサーチファウンデーションではマイクロエレクトリカル、MEMSデバイスの製造方法が多いです。X線リソグラフィーに関係した特許も出ています。
次はゼロックスです。MEMSミラー関係、プリンター関係、流体制御関係、マイクロレンズ関係分光系、モノシリックスペクトルフォトメイター(一体化された分光系でしょうか)、MEMSミラーのコントロール関係、セルフポジショニングミラストラクチャー、マイクロデバイスをダイシングするための方法、特許等があります。
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探検隊長より
今回、MEMS関係の特許を企業中心に見てきましたが、非常に多岐に渡っていることがわかりました。
またプレイヤーも非常に多く非常にユニークな取り組みがなされています。
特にアメリカの大学が盛んなような気がしました。
後、アメリカ政府、軍関係の特許が結構ありました。非常に面白い調査対象であったと思います。
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これはいわゆる最近話題のナノテクノロジーと呼ばれる技術の入り口に当たるものです。
尚、調査対象は米国特許です。
では、権利者別の分類集計から興味深いものをいくつかリストアップしていきます。（順不同）
目立つ会社の１つとしてアナログデバイスという会社があります。
これは、アナログの半導体デバイスではかなり有名な会社です。その中で、結構面白いものがあります。
その１つにマイクロマシンドジャイロというものがあります。
これはアブストラクトを見ていると、まさにマイクロマシン微細加工技術を用いて作ったジャイロスコープのようです。
次にご紹介しますのは、マイクロメカニカルシステムを使った加速度計関係がアライドシグナルインクという会社から出ています。９６年くらいまでさかのぼっています。
カリフォルニア工科大学もいくつか成立させています。フォログラム関係、薄膜エレクトロニクスホンプ、分析機器関係、それからアクチュエータ、リレー等があります。なかなか多彩です。
次に目立つのは、コーネルリサーチファウンデーションから出ているものがあります。これは、マイクロメカニカルシステムを作るためのプロセスおよびその装置関連にかなりいろいろな特許を成立させているようです。また加速度計関係も散見されます。
次に目立つ会社としては、カメラやフィルムで有名なイーストマンコダックがあります。
イーストマンコダックは、光変調機、格子デバイス、メカニカルグレイティングデバイス、等、光関係のものが多いです。
意外なところでは、フォード自動車からも、MEMS関連の特許が出願成立しているようですが、マイクロモータデバイス関係を体系的にやっているような気がします。
フォードモータの特許を見ていると、運動を感知するためのセンサーもかなり出ています。
次にジェネラルエレクトリックGEについて見ていきます。GEではスイッチ関係が多いです。フォトニックスイッチ、交換機用と思われるコンタクトスイッチ等もMEMSで開発しようとしているのでしょうか。
次にHP(ヒューレットパッカード)を見ていきます。HPの場合は、プロセス特許、シリコンマイクロストラクチャーをいかにつくるか。それから、ヘッドドライブ関係があります。クロモトグラフィー等、計測関係もあります。プリンター関係もいくつかあります。プリントヘッド、インクジェット関係です。
次に日立を見ていきます。日立の場合は、まず目についたのが化学分析装置があります。光学関係、スキャニングプロブマイクロスコープ、走査型プローブ顕微鏡(STM)です。
次はハネウエルという会社を見ていきます。超小型のコンプのような特許もあります。ステッパーのモーターのような特許も出ています。あとはリレイ関係のものもあります。マイクロアクチュエーター、マイクロサーマルクーラー等、面白そうなものがあります。ディスプレイ関係もあります。
続いてルーセントテクノロジーのものを見ていきます。プロセス関係、ファイバー関係も多いようです。光関係、メカニカルオプティカルデバイス、光を組み合わせたような特許もいくつか出ています。スイッチ関係も多いです。
会社名にMEMSが入っている、MEMSオプティカルインクという会社があります。まさにMEMSとオプトを組み合わせたあたりにいくつかの特許を出しています。マイクロレンズ関係、シャッター関係もあります。
次はマサチューセッツ工科大学MITを見ていきます。マイクロモーター、マイクロモーター等を作るための製造プロセス、センサーおよび、センサー関係があります。
DRAMで有名なマイクロンテクノロジーもかなりの件数を出しています。リソ関係とフラットパネルデイスプレイっぽいものも結構あります。
次は通信で有名なモトローラを見ていきます。マイクロエレクトリカルスイッチが目立ちます。R/F高周波スイッチ関係が多いです。
次にナショナルセミコンダクターを見ていきます。リソデータ、共振器関係、トランスデューサーが何件か出ています。
サンディオコーポレーション、ここは化学と組み合わせた特許を出しています。面白そうな会社です。
次はシルバーブロック研究所から非常に多くのインクジェットプリンター関係の特許が出ています。
次にTRWという会社です。MEMSを用いた共振器、スイッチ関係R/Fスイッチ関係が多いです。
次は、DSPで有名なTI（テキサスインスルメンツ）です。TIにはデジタルミラーデバイス（DMD）という技術があるのですが、さすがにこれに関係したプロセスがらみの特許が多くあります。しかし、注目するものとしてはR/Fスイッチもかなりあります。TIはアナログも強いですからこの辺に注力しているのかもしれません。
次はカリフォルニア大学を見ていきます。ここもなかなか多彩です。センサー、遺伝子関係、プロティンコントロールシンセシスもあります。アクチュエーター、ジャイロスコープ、センサー製造方法、光学スイッチ（結構多い）。なかなか豊富にやってます。
次にミシガン大学、製造方法、どうやってMEMS構造を作るか！という特許が目立ちます。後、センサー関係、共振器。
次は米国政府の空軍、マイクロミラー関係、光スイッチ、アンテナ関係。
次に海軍からは、センサが多いでしょうか。MEMSモーショントランスレーション、モーションセンサー、等が結構あります。 陸軍は、リッチセンサー、スイッチ回路、スイッチデバイス関係が多いです。
次にウイスコンシンリサーチファウンデーションではマイクロエレクトリカル、MEMSデバイスの製造方法が多いです。X線リソグラフィーに関係した特許も出ています。
次はゼロックスです。MEMSミラー関係、プリンター関係、流体制御関係、マイクロレンズ関係分光系、モノシリックスペクトルフォトメイター(一体化された分光系でしょうか)、MEMSミラーのコントロール関係、セルフポジショニングミラストラクチャー、マイクロデバイスをダイシングするための方法、特許等があります。
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探検隊長より
今回、MEMS関係の特許を企業中心に見てきましたが、非常に多岐に渡っていることがわかりました。
またプレイヤーも非常に多く非常にユニークな取り組みがなされています。
特にアメリカの大学が盛んなような気がしました。
後、アメリカ政府、軍関係の特許が結構ありました。非常に面白い調査対象であったと思います。
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